- [鑫藍動態(tài)]光伏電池廢氣處理工藝-鑫藍昆山[ 2025-04-16 00:00 ]
- 光伏電池生產(chǎn)過程中的廢氣主要來源于制絨、擴散、刻蝕、PECVD（等離子體增強化學氣相沉積）等工序，成分復雜，包含酸性氣體（HCl、HF）、氮氧化物（NOx）、揮發(fā)性有機物（VOCs）、硅粉顆粒物等。處理需兼顧高效凈化與成本控制，以下為光伏電池廢氣處理綜合方案： 一、廢氣成分及排放標準 主要污染物： 酸性氣體：HCl（氯化氫）、HF（氟化氫）。 氮氧化物：NO、NO?。 VOCs：
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