- [鑫藍(lán)動(dòng)態(tài)]半導(dǎo)體制造工藝有機(jī)廢氣處理設(shè)備[ 2025-03-22 00:00 ]
- 鑫藍(lán)廢氣處理設(shè)備－電子廠涉及的行業(yè)很多，不同行業(yè)在工藝上有一定差異，產(chǎn)生的廢氣種類也有一定的差異，今天就從半導(dǎo)體行業(yè)入手為大家介紹電子廠廢氣處理。電子廠半導(dǎo)體廢氣處理主要針對半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒性氣體的治理，我們嘗試使用筒式沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)。半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生的有機(jī)廢氣，主要可以分為，半導(dǎo)體制造工藝有機(jī)廢氣，和半導(dǎo)體封裝工藝產(chǎn)生的有機(jī)廢氣。 半導(dǎo)體制造工藝 1、電子行業(yè)生產(chǎn)廠家處理有機(jī)廢氣和毒氣的處理方法 現(xiàn)在，半導(dǎo)體制造過程中排放的含有有
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- [鑫藍(lán)動(dòng)態(tài)]半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣有哪些，如何處理？[ 2024-01-18 00:00 ]
- 半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣主要包括一般氣體廢氣、含毒性物質(zhì)的廢氣、有機(jī)廢氣和含有酸性/堿性物質(zhì)的廢氣。其中，有機(jī)廢氣包括非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等，酸堿廢氣包括氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。這些廢氣的產(chǎn)生主要來自半導(dǎo)體制造過程中的清洗、刻蝕、顯影等環(huán)節(jié)。 對于這些半導(dǎo)體廢氣處理，需要根據(jù)其性質(zhì)選擇合適的方法，如洗滌法、吸附法、燃燒法等。同時(shí)，還需要注意控制處理效果，確保廢氣排放符合的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。 半導(dǎo)體廢氣處理方法有多種，主要包括以下幾種： 熱氧化法
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- [鑫藍(lán)動(dòng)態(tài)]半導(dǎo)體工業(yè)廢氣處理[ 2023-07-18 00:00 ]
- 半導(dǎo)體廢氣的成分和廢氣處理工藝方案可能會因具體的工藝過程和廢氣排放點(diǎn)而有所不同。以下是一般情況下常見的半導(dǎo)體廢氣成分和廢氣處理工藝方案的示例： 1.半導(dǎo)體廢氣成分： 氣體：常見的廢氣成分包括氨氣（NH3）、二氧化硫（SO2）、氮氧化物（NOx）、氯化氫（HCl）、二氧化碳（CO2）、揮發(fā)性有機(jī)化合物（VOCs）等。 懸浮顆粒物：半導(dǎo)體制造過程中可能產(chǎn)生微小的顆粒物，如硅塵、金屬氧化物等。 2.半導(dǎo)體廢氣處理工藝方案：
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- [鑫藍(lán)動(dòng)態(tài)]鑫藍(lán)環(huán)保-半導(dǎo)體廢氣處理-沸石轉(zhuǎn)輪+催化燃燒[ 2023-03-24 00:00 ]
- 新材料行業(yè)半導(dǎo)體廢氣處理的方法。半導(dǎo)體行業(yè)與傳統(tǒng)材料相比，新材料產(chǎn)業(yè)具有技術(shù)高度密集，研究與開發(fā)成本高，產(chǎn)品的附加值高，生產(chǎn)與市場的強(qiáng)，應(yīng)用范圍廣，發(fā)展前景好。 一、半導(dǎo)體制造工藝過程中揮發(fā)各種有機(jī)廢氣，廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸堿氣體、有機(jī)廢氣。 1、酸堿廢氣主要來自擴(kuò)散、CVD、CMP及刻蝕等工序，這些工序使用酸堿清洗液對晶片進(jìn)行清洗。目前，在半導(dǎo)體制造工藝中使用普遍的清洗溶劑為過氧化氫和硫酸的混合劑。 2、
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- [鑫藍(lán)動(dòng)態(tài)]新材料半導(dǎo)體廢氣處理用什么工藝好呢[ 2023-03-08 00:00 ]
- 隨著發(fā)展，目前市場上新材料行業(yè)與傳統(tǒng)材料相比，其應(yīng)用范圍更廣了，新材料產(chǎn)業(yè)的研究與開發(fā)成本高，產(chǎn)品的附加值高在生產(chǎn)與市場性強(qiáng)，而且新材料半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展前景好。而新材料半導(dǎo)體行業(yè)在加工的過程中采用清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑，這些溶劑中含有大量的有機(jī)物成分，在整個(gè)工藝加工的過程中將會有部分的有機(jī)溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放，這部分揮發(fā)的廢氣主要成分為具有揮發(fā)性的VOCs，下面鑫藍(lán)環(huán)保科技（昆山）有限公司講解一下關(guān)于：新材料半導(dǎo)體廢氣處理。 新材料半導(dǎo)體行業(yè)廢氣
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